百检第三方检测机构业务范围全国覆盖,同时从事材料检测业务多年.百检检测可根据GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法 国家标准安排寄样检测服务,GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法 国家标准相关检测标准项目如下:

GB/T 38447-2020.Micro-electromechanical system technology- Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration.1范围GB/T 38447规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。GB/T 38447适用于MEMS结构的共振疲劳试验。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。.GB/T 2298机械振动 、冲击与状态监测词汇GB/T 10623金属材料力学性能试验术语GB/T 26111微 机电系统(MEMS)技术术语3术语和定义GB/T 2298、GB/T 10623、GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1载荷比 load ratio周期加载中最大值和最小值的代数比。3.2瞬时破坏强度 instantaneous failure strength静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度。3.3参考强度 reference strength静态强度或瞬时破坏强度。4试验方法4.1总则通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验。当样品失效或达到预定的试验时间或次数时,试验结束。4.2试验设备4.2.1概述试验设备能够对试验结构产生恒定振幅和稳定频率的振动。试验系统由激振器、拾振传感器(以下简称传感器)、控制器和记录仪器组成。试验系统框图如图1所示。4.2.2 激振器激振器能在所需方向上对样品施加一定振幅和频率的振荡力。可使用不同种类的激振器,例如,静电、压电、热和电磁激振器等。激振器也可安装在样品中。4.2.3拾振传感器拾振传感器能够测量样品的运动以确定样品试验部位的振幅。4.2.4 控制器控制器可控制激振器产生振荡力,以保持恒定振幅共振振动。根据样品的振动特性,采用下列方法:a)闭合回路法一根据传感器测量信号的变化确定试验部位的共振频率,通过闭环电路维持共振频率。b)开环控制法一通过激励试验部位,在预定的共振频率和振荡信号幅度下试验。在整个试验中,频率和幅度的稳定性应保持在所需值的士3%内。

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