缺陷类型:虚焊(间隙≥1μm)、孔铜厚度不足(<20μm)、层间分层
应用场景:5G高频板、汽车电子、HDI板
(1)制样四步法
切割(微型锯片) → 冷镶嵌(环氧树脂) → 研磨(180#→2000#砂纸) → 抛光(0.05μm金刚石悬浮液)
关键控制点:
镶嵌真空度:>95%(防止水渍假象)
抛光压力:200g±10g(避免铜层氧化污染)
(2)核心参数检测
参数 | 合格阈值 | 测量方法 |
---|---|---|
孔铜厚度 | ≥20μm | 垂直截面法 |
焊点IMC层厚度 | 1~4μm | SEM背散射成像 |
层间对准偏差 | ≤75μm | 光学显微镜标尺 |
技术覆盖:支持纳米级焊点三维重构(FIB技术)
时效性:加急服务48小时出具检测报告