激光干涉仪是精密长度测量与机床精度校准的核心设备，广泛应用于数控机床、坐标测量机等高精度设备的误差补偿。上海百检检测中心通过合作实验室，为激光干涉仪提供专业检测服务。

检测标准与适用范围

依据 JJG 202-2011《激光干涉仪》，适用于测量范围 0-100m 的激光干涉仪（波长 633nm），精度等级 0.1μm/m。适用场景包括机床定位精度、重复定位精度校准，以及线性轴、旋转轴的误差测量（如螺距误差、垂直度）。

核心检测项目

1. 长度示值误差：在 1m、10m、50m 长度，误差≤±(0.1μm+0.1μm/m)。

2. 测量重复性：连续测量 5 次 1m 长度，最大偏差≤0.05μm。

3. 波长稳定性：环境温度变化 1℃，波长变化率≤1×10⁻⁶。

4. 采样频率误差：1kHz 采样频率，误差≤±0.1%。

检测方法与流程

1. 基准校准：使用激光跟踪仪（如 Leica AT960）或标准基线（精度 ±0.05μm）作为基准，环境控制（温度 20±0.1℃，湿度 50±5%）。

2. 分步测试：干涉仪在不同长度下测量，记录光程差对应的长度值；测试不同气压（99kPa-101kPa）下的波长修正准确性。

3. 动态特性测试：测量运动速度 100mm/s 时的跟随误差，≤0.1μm 为合格。

百检服务优势

合作实验室配备 API XD 激光干涉仪作为标准，检测覆盖 Renishaw、API 等品牌，费用比原厂校准低 40%，7 个工作日出报告。支持现场校准大型机床（如龙门铣床），提供误差补偿参数设置指导，提升机床加工精度。提供环境参数（温度、气压）修正公式，确保测量准确性。