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激光干涉测长仪检测标准与项目指南
日期:2025-07-25 16:29:50作者:创始人 人气:0

激光干涉测长仪是基于激光波长的高精度长度测量设备,用于量块、精密零件的长度校准,精度可达纳米级。上海百检检测中心通过合作实验室,为该类仪器提供专业检测服务,确保量值传递准确。

检测标准与适用范围

依据 JJG 738-2005《激光干涉测长仪》,适用于测量范围 0-10m 的激光干涉测长仪(精度等级 0.1μm/m)。适用场景包括量块校准(1 级量块误差≤0.1μm)、精密导轨直线度测量,覆盖计量、航空航天、半导体行业。

核心检测项目

  1. 长度测量误差:1m 长度测量,误差≤±0.1μm,确保高精度长度数据准确。

  2. 分辨率:最小读数≤0.01μm,满足纳米级测量需求。

  3. 温度补偿误差:环境温度 20℃±1℃时,补偿误差≤±0.05μm/m・℃。

  4. 重复性:同一长度连续测量 10 次,最大偏差≤0.05μm。

检测方法与流程

  1. 基准校准:使用一等标准量块(不确定度 ±0.02μm),环境参数用温湿度记录仪(±0.1℃,±1% RH)监测。

  2. 分步测试:仪器测量不同长度量块(10mm、100mm、1000mm),记录示值误差;测试空气折射率对波长的修正效果。

  3. 光路对准:激光光束与测量轴线平行度≤0.01mm/m,避免阿贝误差。

百检服务优势

合作实验室配备 API 激光干涉仪,检测费用比行业低 35%,7 个工作日出报告。支持现场校准计量院设备,提供环境控制建议(恒温 ±0.1℃)。提供测量不确定度评定,助力量值溯源合规。